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洁净室净化等级说明

等级ISO空气洁净

大于或等于表中粒径的浓度限值(P/m -空气)

洁净等级美国联邦209E

0.1um

0.2um

0.3um

3520

832

29

100

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

ISO Class7

空

空

空

352000

83200

2930

10000

ISO Class8

空

空

空

3520000

832000

29300

100000

ISO Class9

空

空

空

35200000

8320000

293000

300000

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